專業(yè)維修ULVAC愛發(fā)科真空設(shè)備。
.油式真空泵：PKS-016，PKS-030，PKS-070，PVD-180(B),PVD-360(B),D-330K,D-650K,D-950，VD301，VD401，D-300DK,D-650DK,D-950DK,EC403，EC603，EC803，VS1501，VS2401，G-5，G-5DA,G-10DA,G-25SA,G-20DA,G-50SA,G-50DA,G-100S,G-100D,GHD-030，GHD-060，GHD-120，GVD-050A,GSL-051，GLD-051，GLD-040，GLD-136A,GLD-136C,GLD-201A,GLD-201B,GLD-280，GCD-051X,GCD-136X,GCD-201X
PRC-003A,PRC-006A,PRC-012A,PMB-001C,PMB-003C,PMB-024C,PMB-040B,PMB-060B
MBS-010，MBS-030，MBS-050，YM-VD100C,YM-VD300C,YM-VS-600A,YM-VS-1201A
YM-VS-1202A等等
2.油擴(kuò)散泵：ULK-04A,ULK-06A,ULK-10A,ULK-14A ，F-250，U-250，PBL-02，PBL-04
PBL-06，PBL-10，PBL-14，PBL-20 ，PFL-22，PFL-22(TM),PFL-36，PFL-52等等
真空泵油：R-4，R-7，R-2，R-80，R-7000，R-7500，R-8000，FOMBLIN YL VAC06/6
FOMBLIN YL VAC 14/6，FOMBLIN YL VAC 25/8 SMR-100
擴(kuò)散泵油：D-11，D-31，B-50K
真空泵油脂：Z-300，Super Z-300
